GAS HOOK-UP：
在半導(dǎo)體廠，所謂氣體管路的Hook-up（配管銜接）以Bulk Gas（一般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）
而言：自供氣源之氣體存貯槽出口點(diǎn)經(jīng)主管線(xiàn)（Main Piping）至次主管線(xiàn)（Sub-Main Piping）之Take Off點(diǎn)稱(chēng)為一次配（SP1 Hook-up）；自Take Off出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)（Tool）或設(shè)備（Equipment）的入口點(diǎn)，謂之二次配（SP2 Hook-up）。以Specialty Gas（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（Gas Cabinet）。自G/C出口點(diǎn)至VMB（Valve Mainfold Box多功能閥箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能閥盤(pán)）之一次測(cè)（Primary）入口點(diǎn)，稱(chēng)為一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次側(cè)（Secondary）出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)入口點(diǎn)謂之二次配（SP2 Hook-up）
Bulk Gas ：
半導(dǎo)體廠所使用的大宗氣體，一般有：CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe等七種，典型系統(tǒng)如下SPECIALITY GAS
半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體種類(lèi)繁多，約有四五十種，依危險(xiǎn)性可區(qū)分為以下數(shù)類(lèi)：
*易燃性氣體 Flammable Gas *毒性氣體 Toxic Gas *腐蝕性氣體 Corrosive Gas *低壓性/保溫氣體 Heat Gas *惰性氣體 Inert Gas
SPECIALITY GAS簡(jiǎn)介：
*易燃性氣體:燃點(diǎn)低，一泄漏與其他氣體相混，便易引起爆炸及燃燒如SIH4（硅烷）、PH3（磷化氫）、H2（氫氣），….
*毒性氣體:反應(yīng)性極強(qiáng)，強(qiáng)烈危害人體功能，如CO（一氧化碳)、NO(一氧化氮）、CLF3（三氟化氯），….
*腐蝕性氣體:易與水份起反應(yīng)而產(chǎn)生酸性物質(zhì)，有刺鼻、腐蝕、破壞人體的危險(xiǎn)性如NH3（氨氣）、SIF4（四氟化硅）、CL2（氯氣），….
*低壓性/保溫氣體:屬粘稠性液態(tài)氣體，需包加熱線(xiàn)及保溫棉 ,將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化，才能充分供應(yīng)氣體 , 如WF6（六氟化鎢）、BCL3（三氯化硼）、DCS（二氯二氫硅），…
*惰性氣體:又稱(chēng)窒息性氣體，當(dāng)泄漏出的量使空氣中含氧量減少至16%~6%以下時(shí),便會(huì)影響人體，甚至死亡，如SF6（六氟化硫），C4F8（八氟環(huán)丁烷），N2O（一氧化二氮）， ….
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